真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置,真空泵基本上可以分为两种类型,气体捕集泵和气体传输泵,其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等。 真空泵的作用就是从被抽容器中抽除气体分子,降低被抽容器内的气体压力,使之达到要求的真空度。
一種可降低容器內的壓力以形成真空狀態的設備。種類繁多,視用途而定。如蒸汽泵、擴散泵、油旋轉泵、低溫泵等。
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